Разработка технологии изготовления линейки лавинных фотодиодов на основе эпитаксиальной структуры p/p+-Si

Ким Александра Сергеевна

Специальность: 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
Искомая ученая степень:
кандидат технических наук
Место защиты:
НИТУ МИСИС

Диссертации по специальности
«Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники»: